000			00350nam a2200121Ia 4500
008			230907s9999||||xx |||||||||||||| ||und||
082			_a621.38152 _bALF
100			_aAlford, Terry L. _9115457
245		0	_aFundamentals of nanoscale film analysis /
260			_aSpringer, _bNew York, N.Y. ; | London : _c2007
300			_axiv, 336 p. :
942			_cBK
999			_c598441 _d598441